超纯水处理设备是一种能够去除水中几乎所有溶解性杂质、微粒、细菌、病毒等物质的设备，从而生产出高纯度的水，以满足特定工业和科学应用的高标准水质要求。这种设备广泛应用于电子、半导体、医药、化工、电力等领域。
超纯水处理设备的主要组成部分包括预处理系统、反渗透系统（RO）、电去离子（EDI）系统以及后处理系统等。
预处理系统：这是超纯水处理的第一步，主要用于去除水中的悬浮物、颗粒物、有机物、重金属离子等杂质，以保护后续处理系统免受污染和损坏。预处理系统通常包括多介质过滤器、活性炭过滤器、精密过滤器等。
反渗透系统（RO）：反渗透技术是超纯水处理中的核心技术之一，它利用半透膜的选择透过性，在压力的作用下，使水分子通过膜而溶解性杂质无法通过，从而实现水与杂质的分离。反渗透系统可以去除水中的大部分溶解性盐类、有机物、细菌、病毒等。
电去离子（EDI）系统：在反渗透系统之后，通常会使用电去离子系统进一步提高水质的纯度。EDI系统通过电化学反应去除水中的离子，可以生产出电阻率极高的超纯水。
后处理系统：经过预处理、反渗透和电去离子等步骤后，水质的纯度已经非常高，但为了满足特定应用的需求，可能还需要进行后处理。后处理系统通常包括紫外线消毒、臭氧消毒、混合床离子交换器等，用于进一步去除水中的微生物、有机物等杂质，并调整水的pH值、电导率等参数。
超纯水处理设备的优点包括整体化程度高、易于扩展、处理效果好、自动化程度高等
