中水回用到超纯水制备的过程涉及多个步骤和设备，以下是可能需要的主要设备：
中水回用设备：这是将中水（即废水经过初步处理后达到一定水质标准的水）进行进一步处理，使其满足特定用水需求（如灌溉、工业用水等）的设备。中水回用设备可能包括物理处理（如格栅、沉淀池）、生物处理（如活性污泥法、生物膜法等）和深度处理（如过滤、消毒等）等部分。
预处理设备：在将中水转化为超纯水之前，通常需要进行预处理以去除水中的悬浮物、胶体、有机物等杂质。预处理设备可能包括多介质过滤器、活性炭过滤器、超滤器等。
反渗透设备：反渗透技术是一种常用的超纯水制备技术，它通过半透膜在压力作用下只允许水分子通过，而将其他物质（如溶解的离子、有机物等）截留在膜的一侧，从而实现水的纯化。反渗透设备是超纯水制备的核心设备之一。
离子交换设备：离子交换设备可以进一步去除水中的离子，包括硬度离子（如钙、镁）和其他溶解性离子（如钠、钾等）。常见的离子交换设备有阳离子交换器、阴离子交换器和混合床离子交换器等。
电除盐设备（EDI）：电除盐设备是一种利用电场和离子交换膜将水中的离子去除的设备，它可以替代传统的离子交换树脂，实现连续、稳定的超纯水制备。
紫外线杀菌设备：紫外线杀菌设备用于去除水中的微生物，保证超纯水的生物安全性。
终端过滤器：在超纯水制备的最后阶段，通常需要使用终端过滤器去除水中的微小颗粒和细菌，确保超纯水的质量。
