案例名称: 某半导体制造企业超纯水制备系统工程
案例背景:
某半导体制造企业为满足其生产线对超纯水的高品质需求,决定投资建设一套全新的超纯水制备系统。该系统需要满足严格的水质指标,如电阻率、总有机碳(TOC)、微粒和细菌含量等,以确保半导体器件的制造质量和可靠性。
系统设计:
预处理系统:采用多介质过滤器、活性炭过滤器和超滤器等设备,去除水中的悬浮物、胶体、有机物等杂质,为后续的深度处理提供良好的进水条件。
反渗透系统:采用高效的反渗透膜组件,通过压力驱动使水分子通过膜层,截留水中的溶解性离子和有机物,得到高品质的淡水。
EDI系统:在反渗透系统之后,设置EDI(电去离子)系统,利用电场和离子交换膜去除水中的剩余离子,进一步提高水质的纯度。
终端处理系统:包括紫外线杀菌器、微孔过滤器等设备,确保超纯水在最终使用前达到无菌、无微粒的状态。
控制系统:采用PLC(可编程逻辑控制器)和触摸屏等先进控制设备,实现系统的自动化运行和远程监控,确保水质的稳定性和可靠性。
实施过程:
现场勘查与方案设计:工程师团队对现场进行勘查,了解水源水质和用户需求,制定详细的设计方案。
设备选型与采购:根据设计方案,选择合适的设备和材料,进行采购和定制。
系统安装与调试:按照设计方案进行系统的安装和调试,确保各设备之间的连接和配合准确无误。
系统测试与验收:在系统安装完成后,进行全面的测试和验收,确保系统能够稳定运行并满足设计要求。
操作培训与售后服务:为用户提供操作培训和售后服务,确保用户能够熟练掌握系统的操作和维护方法。
案例效果:
该超纯水制备系统工程投入使用后,成功满足了半导体制造企业对超纯水的高品质需求。水质稳定可靠,符合设计要求,得到了用户的高度认可和好评。同时,该工程也为企业节省了大量的用水成本和维护成本,提高了生产效率和经济效益